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太阳能专用设备
 

 
太阳能专用设备
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PECVD等离子增强化学气相淀积设备



设备主要特点
◆用工业微机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制.
◆采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高.
◆采用进口耐腐蚀不锈钢管件,阀门,确保气路气密性.
◆具有完善的报警功能及安全互锁装置.
◆具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力报警,N2压力报警.水流报警等。
◆工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全控;有毒害尾气定向收集、集中处理排放;更加安全、环保。
◆装片数量: 320片(125*125)/ 255片(156*156)/每炉管
◆净化台洁净度:100级(10000级厂房)
◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用日本导电或同类品牌,可在达到±0.5℃的控制精度。
◆送取片方式:悬臂式推拉舟。
设备主要技术指标
◆温度使用范围:150~800℃
◆极限真空度: 优于1Pa
◆压力调节范围:13~300Pa 连续可调,闭环控制
◆射频电源:    40KHz连续可调
◆温区长度(150~400℃):1000mm
◆温区稳定性(400℃):   ±2℃
◆温区稳定性(<400℃): ±3℃
◆温度梯度:    0~30℃/1000mm可调
◆淀积速率:    30nm/min
◆深层折射率: 1.9~2.2
◆最大可控升温速度:15℃/min
◆最大降温速度:5℃/min
工艺指标:
u片内±3%,片间±3%,批间±3%
 
全国免费咨询电话:400 0532 778    总经办电话:13805320424
 
EMAIL:qdyuhaodz@126.com     网址:www.qdyuhao888.cn
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