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半导体专用设备
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控制系统


控制系统分类产品:
温控系统包括:日本FP23+SR23+SR23配置、日本MR13配置、以及日本FP93配置等等…
触摸屏配置包括:日本三菱、日本欧姆龙、日本松下、厦门宇电、以及公司自制研发8500系列高精度控温系统…控制柜、
气路管件控制系统:日本山武、日本SMC、德国费斯托、以及国产七星华创等品牌…
上述系统可应用于进口设备、国产设备以及承接旧设备改造、翻新等。
◆温度控制单元(DTC):                    
◆温度测量范围:0.0~1300.0℃
◆温度冷端补偿:冷端智能补偿               
◆温度显示精度:全量程0.1℃
◆温度控制通道:3或5通道(使用于4”-”扩散炉)。
◆温度控制精度:
    800.0~1300.0℃≤±0.5℃/24h;       400.0~800.0℃≤±1.0℃/24h;
    200.0~400.0℃≤±1.5℃/24h;
◆温度升降速度:最大升温速度15℃/min        最小降温速度5℃/min
◆推拉舟的控制:可编程,行程编程范围0-3000mm;定位精度:≤±1.0mm    舟速可根据需要进行调整。
◆程序控制单元(DPC):                    
 ◆气体/压力控制通道:8通道
◆气体/压力控制精度:±0.5%               
◆模拟输入/检测通道:±0.5%/8通道
◆按照工艺要求设定质量流量计的流量       
◆设定流量和实际流量可直观显示。
◆气体流量软启动,启动后使气体流量缓慢达到设定流量。
◆可靠的保护和报警措施:有气体流量反馈检测、电磁阀门反馈检测、气体压力报警、气体流量超差报警等。
◆氢氧合成保护:氢气和氧气实现气动连锁保护,氢气点火温度和控制温度程序连锁保护。当氢氧比例失调、点火点 温度超差、 欠压、断氧、点火失败等故障时系统自动报警,提示操作者或自动诊断处理切断气体流量来保证工作安全。
 
 
全国免费咨询电话:400 0532 778    总经办电话:13805320424
 
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