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半导体专用设备
 

 
半导体专用设备
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LED外延片退火炉


◆ 全中文操作界面,可编辑参数,操作简便                 
◆ 可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步 
◆ 工艺曲线的自动运行控制功能                           
◆ 自动运行中可暂停/继续运行功能             
◆ 工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能             
◆ 智能升降温斜率控制功能
◆ PID参数自整定功能                 
◆ 可存储多组PID参数供系统运行调用功能
◆ 系统故障的检测与报警功能                             
◆ 系统误差修正(单点或多点动态修正功能)
◆ 智能悬臂推拉舟控制功能                                
◆ 工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器)
◆ 停电后断点继续运行功能等等                           
     该系统可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。 
◆ 工作温度:200-1000℃(最高温度小于800℃)
◆控制精度:≤±1.0℃
◆恒温区长度:定制
◆开机重复性:≤±1.0℃
◆冷态真空度:10-1Pa
◆石英真空室内径:定制
◆控制仪表:日本岛电公司原装进口控温仪
◆环境温度:10~45℃
◆相对湿度:≤85%
◆供电电源:三相五线380V±10% 50Hz
◆可用气氛:H2,N2 
★可配工艺管数量:1~4管/台;       
★工作温度范围:200~1000℃;
★恒温区长度及精度:300~900mm     600~1000℃±0.5℃;
★单点温度稳定性:600~1000℃±0.5℃/24h;    
★最大可控升温速度:15℃/min
★最大降温速度:15℃/min 
 
全国免费咨询电话:400 0532 778    总经办电话:13805320424
 
EMAIL:qdyuhaodz@126.com     网址:www.qdyuhao888.cn
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