设为首页 | 加入收藏 | 联系我们
 
网站首页
 
半导体专用设备
 

 
半导体专用设备
您当前位置:网站首页 >> 半导体专用设备  

高温扩散炉


 

 

一.设备概述:
 高温扩散炉采用电脑工控机软件控制方式,该设备主要在高温1300℃状态下用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、烧结等工艺。设备主要适合于4-6英寸工艺硅片的处理

二.设备主要特点和优势
 1★具有强大的软件功能,友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间;
 2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;
 3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间;
 4★具有多种工艺管路,可供用户方便选择;
 5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰;
 6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制,避免马达丢步,运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期,自动校准位置,有效防止定位偏差;
 7★气体流量控制精确,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能;
 8★具有多种报警功能及安全保护功能;
 9★恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度;

三.设备参数类型:

方式:

左/右手操作方式,大工作台面(侧面采用高效净化)

可配工艺管数量:

1-5管系统

净化台洁净度:

100级(10000级厂房)

气体流量控制:

均用MFC控制

送取片方式:

自动推拉,采用碳化硅浆推拉舟,软着陆方式

使用类型:

4-6寸炉管

工作温度:

600~1290℃

炉管有效口径:

¢180-350mm

总功率:

18-35KVA/管保温功率:8-15KVA/管

三相五线制:

380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线

报警:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能

恒温区长度及段数:

400-1100mm(3-5段控温)

控温精度:

±0.5℃(≧1000℃)

单点温度稳定性:

±1℃/12h

控温方式:

工控机 + PLC控制 + 触摸屏

热偶类型:

热电偶采用S/R型,每管Spike 4-10支热偶

最大可控升温范围:

(500~1300℃)0--15℃/min

最大可控降温范围:

(1300~500℃)0--10℃/min

设备总外形尺寸:

根据设备配置不同,尺寸有所不同

四.主要构成:

1、

设备主机

2、

加热系统

3、

排风冷却系统

4、

排毒箱(和设备主机做为一体)

5、

净化工作台

6、

控制系统

7、

自动碳化硅浆推拉舟机构

 

 
总经办电话:13805320424    全国咨询电话:400 0532 778
 
EMAIL:qdyuhaodz@126.com     网址:www.qdyuhao888.cn
鲁ICP备17001421号-1