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半导体专用设备
 

 
半导体专用设备
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太阳能扩散炉


 

 

一.设备概述:  

本设备主要用于晶体硅太阳能电池、电力电子等行业的关键电子专用设备,适合于125mm*125mm和156mm*156mm太阳能电池硅片表面掺杂扩散、氧化、退火等制程工艺,采用电脑工控机软件控制方式,是其性能技术指标已经达到国际先进技术水平。  
 太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式  
 ◆闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理;工艺废气集中收集从尾部定向排出;各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程完全不受外界环境干扰,工艺质量完全受保护。  
 ◆自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外进口,可达到±0.5℃的控制精度。  
 ◆送取片方式:悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构,可有效的防止偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的精确性。 
 
 二.设备主要特点和优势 
 1★具有强大的软件功能,友好的人机界面,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间; 
 2★采用高可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化; 
 3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间; 
 4★具有多种工艺管路,可供用户方便选择; 
 5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰; 
 6★推拉舟控制采用自动上下装卸舟、高速脉冲闭环控制,避免马达丢步,运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期,自动校准位置,有效防止定位偏差; 
 7★气体流量采用数字化精确控制,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能; 
 8★具有多种报警功能及安全保护功能;
 9★恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度; 
 10★压力自动调整技术,将压力参数引入晶体硅太阳能电池扩散/氧化工艺,有效减小了尾部排风对工艺的干扰,减小由排风引起的工艺波动。 

三.设备类型参数:D

方式:

左/右手操作方式,大工作台面(侧面采用高效净化)

可配工艺管数量:       

1-5管系统

净化台洁净度: 

100级(10000级厂房) 

气体流量控制: 

均用进口数字化MFC控制 

气路流量设定精度:

±1%FS

送取片方式: 

自动推拉,采用Sic浆推拉舟,软着陆方式 

推拉杆行程 

1800mm-2100mm

速度:

20mm-1000mm/

垂直升降速率:: 

7mm/min-15mm/min; 

承重: 

≥15kg 

装舟方式:

自动装卸石英舟 

冷却系统:

水冷2~4Kgf/cm2,8L/min;+上接排风冷≈25m3/min; 

使用类型:T

6-8寸炉管 

可加工硅片尺寸

125mmX125mm  156mmX156mm(单面扩散530片)

工作温度: 

600~1150℃ 

炉管有效口径: 

¢300-350mm

总功率:T

35-45KVA/管   保温功率:13-18KVA/管 

三相五线制: 

380V±10%,50Hz±10%,次级线不小于35平方高温线 

报警:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能 

恒温区长度及段数: 

800-1200mm(3-5段控温) 

控温精度: 

±0.5℃(≧1100℃) 

单点温度稳定性: 

±1℃/12h

控温方式: :

工控机 + PLC控制 + 触摸屏 

热偶类型: 

热电偶采用S/R型,每管Spike 4-10支热偶 

最大可控升温范围: 

(600~1100℃)0--15℃/min

最大可控降温范围: 

(1100~600℃)0--10℃/min

设备总外形尺寸: 

长*宽*高:6500*1500*3750mm

四.主要构成:

1、

设备主机 

2、

加热系统

3、

排风冷却系统          

4、

排毒箱(和设备主机做为一体) 

5、

净化工作台      

6、

控制系统

7、

自动碳化硅浆推拉舟机构

8、

自动装卸舟系统

 
 
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