产品简介：
全系列半导体及光伏行业立式扩散炉等热处理设备的高质量加热炉体热场，满足6寸以上晶圆及电池片制造工艺，独有的自动化制作工艺技术，专业的生产制造理念，造就加热炉所具有更宽的工艺温度范围及更高的恒温区精度、稳定性，以及更长的使用寿命
产品说明：
炉体类型：
~气体快速升降温型
~水冷型
~高温型
~普通型
控温精度：                            
＜ 1290℃/±0.35-0.5 ℃
＜ 1100℃/±0.5-1 ℃
＜ 800℃/±1 ℃
保温棉材质及包装形态：英国Morgan、软态包裹式/真空成型式
加热材料品牌：瑞典KANTHAL A-1、APM、HRE加热丝等
产品应用：Product application:
卧式扩散炉、氧化炉、LPCVD、PECVD、光伏扩散炉等全系列炉型
匹配设备品牌：Matching equipment Brand
Tempress、Semco、Kokusai、ASM、TEL、KE、BTU、等国内外知名品牌设备商