卧式氧化炉

◎ 详情介绍

一、设备概述:

卧式氧化炉设备可应用于集成电路、分立器件、 POWER、 MEMS等多种领域,适用于4-8英寸晶圆芯片的氧化、扩散、GPP、退火、合金等工艺。

氧化工艺是将硅片放置于氧气或水蒸气的氛围中进行高温热处理,在硅片表面形成氧化膜的过程,可作为离子注入的阻挡层及注入穿透层、表面钝化、器件结构的介质层等


二、设备参数类型:

设备性能指标

1

操作方式

根据客户操作可定左/右手操作

2

管路数

1-5管

3

加工晶圆尺寸

4-8寸

4

适用工艺

扩散(磷扩、硼扩)、氧化(干氧、合成)、玻璃钝化(GPP)、退火、合金、铝预沉积

5

工艺指标

氧化膜厚均匀性(膜厚5000Å)

IW≤2%,W2W≤3%,R2R/D2D≤3%

6

温度校准功能

具有自动校准温区功能,具有预先写入偏差值快速拉温区功能

7

控温模式

Spike控温+Profile串级控温

8

控制系统结构

一体工控机+PLC

9

报警保护:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能


三、设备主要特点和优势

1★具有强大的操作功能,windows界面,显示屏操作,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间;

2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温、进退舟、气体流量、阀门进行全自动控制,实现全部工艺过程自动化;

3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间;

4★具有多种工艺管路,可供用户方便选择;

5★冷端采用PT100检测环境温度进行温度补偿,避免环境温度变化,对炉膛温度产生影响,避免层间干扰;

6★推拉舟控制采用高速脉冲闭环控制,避免马达丢步,运行颤抖现象。推拉舟运行完一个周期,自动校准位置,有效防止定位偏差;

7★气体流量控制精确,采用模拟信号闭环控制,强弱电分开,各种数据交互采用标准总线,提高抗干扰能力,保证数据安全;气体打开具有缓启动功能;

8★具有多种报警功能及安全保护功能;
9★恒温区自动调整,串级控制,可准确控制反应管的实际工艺温度;

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◎ 企业简介

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青岛育豪微电子设备有限公司创建于2008年,是集研发、制造、销售为一体的高新技术企业,育豪公司致力于电加热炉设备、加热炉体热场、石墨治具加工领域,产品服务于各类电子器件行业、半导体材料行业、太阳能光伏行业等相关领域。

 

育豪公司系国家级高新技术企业,省专精特新企业、拥有企业商标注册权、进出口经营权,已通过ISO9001质量管理体系认证,拥有各种专利50+项。

◎ 企业资质

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