主要应用于 3-6 英寸 砷化镓III-V 族化合物半导体晶体材料在高真空状态下进行脱氧封管工艺，自动控制系统。

二、指标参数：

三、设备主要特点和优势

1、具备查询以往测温记录；历史数据和温度曲线。

2、曲线查看功能：具备温度、气体、功率、真空度等查看功能；

3、手/自动控制功能：具备温度，气体，功率设定，开关阀的控制功能；

4、报警查看功能：具备查询报警类型的功能；

5、功率限定保护：不同的温度可设定不同的最高功率；

6、分级管理，不同人员可根据登陆情况进行不同的参数修改。

7、数据导出功能，可以通过U盘把记录的温度，流量数据导出到U盘中。

系统硬件具有非常灵活的扩充能力，可方便地为各炉体扩充推拉舟驱动控制功能以及气体流量计控制功能。