砷化镓多晶合成炉

◎ 详情介绍

一、设备概述:

主要应用于 3-6 英寸 砷化镓III-V 族化合物半导体晶体材料多晶合成工艺,自动控制系统。


二、设备参数类型:

设备性能指标

1

操作方式

手动

2

管路数

1管

3

加工晶圆尺寸

4-6寸

4

适用工艺

多晶合成工艺

5

控温精度

±1℃/>1280℃恒温区内

6

控制系统结构

一体工控机+PLC

7

报警保护:

具有超温报警,断偶报警,气体互锁,气体缓启动等功能


三、设备主要特点和优势

1★具有强大的操作功能,windows界面,显示屏操作,用户可以方便地修改工艺控制参数,并可随时显示各种工艺状态;配有故障自诊断软件,可大大节省维修时间;

2★采用可靠性工控机+PLC模式,对炉温进行全自动控制;

3★程序可以实现手/自动工作,在停电或中途停机后,再次启动可以根据工艺手动升温,节省工艺时间;

4★具有多种报警功能及安全保护功能;
5★恒温区自动调整,可准确控制反应管的实际工艺温度;


◎ 企业简介

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青岛育豪微电子设备有限公司创建于2008年,是集研发、制造、销售为一体的高新技术企业,育豪公司致力于电加热炉设备、加热炉体热场、石墨治具加工领域,产品服务于各类电子器件行业、半导体材料行业、太阳能光伏行业等相关领域。

 

育豪公司系国家级高新技术企业,省专精特新企业、拥有企业商标注册权、进出口经营权,已通过ISO9001质量管理体系认证,拥有各种专利50+项。

◎ 企业资质

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