• 专业半导体设备供应商

    育豪公司致力于半导体晶圆芯片工艺制程加热炉设备、分立器件烧结炉设备、LED芯片工艺设备、碳化硅/氮化镓工艺设备、晶体材料热处理设备、加热炉体热场、石墨模具加工领域及非标定制化热处理设备

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  • 半导体晶圆制程行业

    立式扩散/氧化/退火炉

    Vertical diffusion/oxidation/annealing furnace

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  • 半导体晶圆制程行业

    卧式扩散/氧化/退火炉

    Horizontal diffusion/oxidation/annealing furnace

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  • 半导体低温封装行业

    — — 链式烧结炉

    Chain sintering furnace

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  • 晶体材料化合物专用炉

    Specialized furnace for crystal material compounds

    单晶生长炉、多晶合成炉、封管(脱氧)炉

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  • 加热炉体热场

    Heating furnace body thermal field

    立式加热炉体,水平卧式加热炉体

    光伏扩散炉专用加热炉体,水冷加热炉体,气冷加热炉体

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半导体晶圆制程行业

半导体晶圆制程行业

Semiconductor wafer industry equipment

4-8英寸全自动扩散/氧化/退火炉、全自动LPCVD低压化学气相沉积设备。集成电路行业:8-12英寸立式扩散/氧化/退火炉, 应用范围:集成电路、分立器件、 POWER、 MEMS等多种领域,适用于4-12英寸晶圆芯片的氧化、扩散、GPP、退火、合金、低压化学气相沉积等工艺。

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半导体低温封装行业

半导体低温封装行业

Discrete Device Industry

链式烧结炉、真空烧结炉、氢气气氛烧结炉   ,主要应用于半导体器件、二极管的烧结、热敏电阻玻璃烧结、可控硅模块的烧结以及各种厚膜电路的烧结、排蜡、烘干等工艺。

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半导体高温烧结行业

半导体高温烧结行业

Semiconductor high-temperature sintering industry

高温管式炉,真空管式炉,高真空管式炉,氢气烧结炉,氢气推板炉,高温钎焊炉,高真空钎焊炉。

主要用于汽车、航天、航空、电子等行业的铜材料、不锈钢器件、可伐材料、陶瓷等产品结合金属焊料在气氛保护中进行钎焊工艺的生产。

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单质及化合物晶体材料行业

单质及化合物晶体材料行业

Crystal materials industry

砷化镓/磷化铟单晶生长炉、合成炉、封管(脱氧炉)主要应用于GaAs、InP等III-V 族化合物晶体材料的生长,可实现 VGF/VB 工艺联合生长,按生长方式分:梯度生长和移动生长,晶体生长尺寸:2-6英寸。

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加热炉体热场

加热炉体热场

Heating furnace body thermal field

立式加热炉体,水平卧式加热炉体、光伏扩散炉专用加热炉体,水冷加热炉体,气冷加热炉体。

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非标定制化热处理炉

非标定制化热处理炉

Non standard customized heat treatment furnace

退火炉,烧结炉,还原炉,排蜡排胶炉,熔炼炉,热压炉

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石墨工装治具

石墨工装治具

Graphite tooling fixture

本产品主要用于:半导体分立器件、电子元件IGBT、冶金、化工、机械、医疗器械、核能、汽车、航空航天等行业的产品夹具、产品定型、加热(石墨电极)等用途。

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青岛育豪微电子设备有限公司创建于2008年,是集研发、制造、销售为一体的高新技术企业,育豪公司致力于电加热炉设备、加热炉体热场、石墨治具加工领域,产品服务于各类电子器件行业、半导体材料行业、太阳能光伏行业等相关领域。

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